Der Beschichtungsprozess besteht im Wesentlichen aus sieben Schritten. Im ersten Arbeitsschritt bereitet man die Anlage für die Beschichtung vor und die Verdampfer werden mit Material gefüllt. Bei einer PVD Beschichtung sind dies typischerweise Oxide, Fluoride, Sulfide und Metalle wie Gold, Chrom, Silber und Aluminium. Im zweiten Schritt fixiert man die gereinigten Optiken in der Anlage. Anschließend schließt man die Vakuumkammer und startet die Vakuumpumpen. Nach Erreichen des Startdrucks wird im nächsten Schritt mit der Beschichtung begonnen.
Bei einer Verdampfung aus einem Schiffchen wird dieses durch Stromfluss aufgeheizt, bis der Schmelzpunkt des Beschichtungsmaterials erreicht ist. Die Abscheidung auf die Optiken erfolgt dann mit einer Geschwindigkeit von wenigen Nanometern pro Sekunde. Die Zielschichtdicke eines Materials ist abhängig von seiner Funktion. Die meisten Metalle sind nach solch einer Beschichtung ab ca. 100 nm blickdicht.